溅射离子泵 优点：1）无油、无振动、无噪声；2）使用简单可靠、寿命长、可烘烤；3）不需要冷剂、放置方向不限；4）在超高真空下仍然有较大抽速，极限线 Pa）。 缺点：体积和重量大（磁体）；对惰性气体抽速小。 一、 工作原理 抽气作用是基于活性钛膜的吸附作用和电清除作用，但其钛膜的形成是由放电引起的阴极溅射来实现的，避免了热源，故称为 冷泵。 图 溅射离子泵结构 图 溅射离子泵单室结构 阳极为多个并联的不锈钢圆筒，圆筒两端是薄钛板制成的阴极板。阴极和阳极筒间有适当间隙，以保持绝缘并作为气体的通导。 阳极、阴极一起装于不锈钢外壳...

　　溅射离子泵 优点：1）无油、无振动、无噪声；2）使用简单可靠、寿命长、可烘烤；3）不需要冷剂、放置方向不限；4）在超高真空下仍然有较大抽速，极限线 Pa）。 缺点：体积和重量大（磁体）；对惰性气体抽速小。 一、 工作原理 抽气作用是基于活性钛膜的吸附作用和电清除作用，但其钛膜的形成是由放电引起的阴极溅射来实现的，避免了热源，故称为 冷泵。 图 溅射离子泵结构 图 溅射离子泵单室结构 阳极为多个并联的不锈钢圆筒，圆筒两端是薄钛板制成的阴极板。阴极和阳极筒间有适当间隙，以保持绝缘并作为气体的通导。 阳极、阴极一起装于不锈钢外壳中，整个壳体置于一磁场中，磁力线平行于阳极筒轴向，磁通密度 0.1~0.2T。当在阳极和阴极之间加 3~7kV 的直流电压时，泵内的气体分子被电离并形成潘宁放电；放电产生的离子朝向阴极运动，在阴极上引起强烈的溅射，溅射的活性金属钛向阳极筒内壁及阴极上遭受离子轰击较少的区域沉积。这样导致了两个结果：1）连续提供了新鲜的活性钛膜（ 吸附）；2）连续掩埋吸附于阳极筒内壁及阴极边角部位（离子轰击较少部位）的气体分子，尤其是惰性气体离子（ 电清除）。 二、 单室内的物理过程（潘宁放电） 图 单室中电子在电磁场中的运动 1.电子运动溅射离子泵宾主效应凯时kb88真人平台互易定理电缆管